ICP霧化器為雙層結構，外管為載氣通路，內管為樣品管，主要將待測液質樣品霧化分析的一種裝置，主要和霧室配合使用。
ICP霧化器是進樣系統中關鍵的部分，需要很好地維護和使用。由于霧化器噴嘴出口很小，容易受樣品溶液中鹽分或其它不溶物堵塞，容易造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是待測元素譜線測定強度下降等。應定期對其清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的噴嘴會積有鹽分，更應注意清洗。
檢查過程中通常要考慮以下幾點：
1．吸入水，以肉眼檢查霧化器產生的氣溶膠(霧化器一旦被堵塞，由于含有許多大的霧滴，通常形成的噴霧會不穩定)。
2．氬氣氣流反方向加壓或將霧化器放入合適的酸液或溶劑中浸泡，可以消除堵塞；也可以采用超聲波清洗促進堵塞物溶解(要與制造廠商確認，是否允許超聲波清洗該類型的霧化器)。 注意：不要用任何金屬絲之類去捅霧化器噴嘴，這有可能導致損壞。
3．確保霧化器被安全密封在霧室的端帽上。
4．檢查所有的O形圈的損壞和磨損情況。
5．確保進樣毛細管正確連接到霧化器的進樣管路中。
6．每隔1～2周檢查霧化器，檢查周期由工作量決定。
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